在化工行业，真空设备如同水、电和压缩空气一样是不可缺少的公共设施。真空通常用以去除空气或水蒸汽，以防止对工艺过程产生干扰，真空还可以提高反应过程的效率以及重要化合物的回收率。在真空状态下，液体的沸点降低，这对于处理热敏材料非常有利，在真空条件下，从液态产生的固体终端产物更加均匀，几乎没有气泡造成的空穴。此外，含有侵蚀性的化合物在真空下处理和转移则更为安全。

化工工艺对真空泵的要求    

由于化工工艺的工况比较恶劣，工作周期很长，所以真空泵首先要可靠耐用、性能稳定，同时还必须具有下列性能：

❶ 能够处理各种不同溶剂的蒸汽，且不会对泵造成损害；

❷ 不会对工艺过程和环境造成污染；

❸ 产生的废物要尽可能减少；

❹ 真空泵要耐腐蚀；

❺ 能够处理可燃性气体或蒸汽；

常见干式真空泵介绍   

罗茨型真空泵 

罗茨型真空泵是属于较大型的干式真空泵，在化学工业有着广泛应用。该泵是由三级三叶型罗茨转子串联组成，它们装在同一根轴上，各级转子之间由中隔板隔开，形成各级泵腔，上一级排气口连到下一级进气口，各级串联进行抽气。各级转子的直径和形状是相同的，各级转子的宽度向高压侧方向变窄，但是这种设计均需要级间冷却，亦即上一级排出的气体通过热交换器后冷却后再进入到下一级的入口，如下图所示。这种三叶型的罗茨型干泵虽然可以减少气体返流，但是被抽气体要经过曲折路程才能排出到泵外，容易造成工艺物料堆积在泵腔内，而且颗粒杂质也不容易直接排出到泵外。罗茨型干泵可以从大气抽到10Pa，抽速为（36~360）升/秒。

爪型干式真空泵  

爪型干式真空泵的转子特点是在高压下具有高的压缩比。爪式转子还具有两个功能：一是用来截获、输送以及压缩气体，另一个就是像阀门一样，在适当的时间打开和关闭吸气口和排气口。

山东亿宁环保科技有限公司研发的爪型干式真空泵的极限压力达到≤1Pa，抽速为（4~1600）L/s。我公司研发了一款石墨复合材料爪型干式真空泵，可应用于化工行业中强腐蚀性介质工况，如高氯酸、氢碘酸、硫酸、氢氟酸、氢溴酸、盐酸、硝酸等。目前，该款真空泵己经在化工行业的蒸发、蒸馏、干燥、浓缩等工况中应用。

螺杆真空泵  

螺杆真空泵具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦组件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点，因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到广泛应用。螺杆真空泵的工作原理：由一对同步齿轮带动逆向旋转的螺杆，在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间均有一定的间隙，没有任何金属与金属之间的接触。于是螺杆在旋转过程中就将被抽气体从进气口吸入并排出到排气口, 见下图。

爪型干式真空泵和螺杆真空泵虽然价格比较昂贵，但性能十分优越，运行费用亦低，不存在废液排放问题，既节能又环保。所以上述两种真空泵最适合于化工工艺应用。